产 品 详 情
K-kit 是以硅晶制作的微流道 (Micro-channel) 晶粒，其设置有氮化硅薄膜观测窗，供 TEM 影像观察使用。制程上使用氢氧化钾 (KOH) 非等向湿蚀刻技术形成窗口与斜面，因此造成看似不规则的外形。流道方向顺着窗口长边方向贯穿，在晶粒两端形成开口。
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